本製品の接液部は全て日本ピラー社のスーパー300タイプピラー継手とピラフロン管で構成され、半導体製造用レベルの超高純度の溶液の充填に使用できます。また、装置の気相接触可能部分から徹底的に金属を排除し、濃塩酸、濃硝酸、濃弗酸などの高い腐食性を持つ溶液の充填に使用できます。このモデルでは、4種類の溶液を一台の装置で小分け作業できますが、装置は非常にコンパクトな為、スペースが限られているクリーンルーム内のレイアウトの自由度も高くなります。
外観
本製品は、クリーンルーム内での半導体製造用薬品の充填用に最適化された装置です。日本ピラー社の高純度フッ素樹脂配管・継手を使用し、接液部からのコンタミの可能性を徹底的に排除しています。また、最高濃度の濃塩酸・濃硝酸・濃弗酸を使用できるように、気相が接触可能な部分から金属を排除し、装置の腐食による劣化を防止しています。
本装置の詳細も順次公開して行きますので、また当HPへご来訪ください。
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