半導体製造用の高腐食性薬品の充填機beta10FSM3-CRを掲載しました

　半導体製造に使用する超高純度で高い腐食性をもつ薬品の充填に最適化した充填機の情報を掲載しました。この装置は900×600×1700というコンパクトサイズながら、4種類の溶液を充填できる仕様になっています。秤以外の気相接触部分は全て樹脂製で、局所排気ダクトも装備しているため、クリーンルーム内で、これらの強腐食性液体のの充填作業を安全に行う事ができます。

　今回の掲載では、簡単な概略のみの情報ですが、順次掲載して行きます。

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