半導体製造用の高腐食性薬品の充填機beta10FSM3-CRを掲載しました

　半導体製造に使用する超高純度で高い腐食性をもつ薬品・溶液用の充填機です。この装置は900×600×1700というコンパクトサイズながら、4種類の溶液を充填できる仕様になっています。秤以外の気相接触部分は全て樹脂製で、局所排気ダクトも装備しているため、クリーンルーム内で、これらの強腐食性液体のの充填作業を安全に行う事ができます。

　今回の掲載では、簡単な概略のみの情報ですが、順次掲載して行きます。

　詳細は、本商品のページをご覧ください